如何通过沙子来改变这个世界详解芯片工作及

沙子在我们普通人的眼中可能只是一种廉价的建筑材料,然而,科学家们通过自己的智慧,将这些不起眼、廉价的沙子制成半导体材料,价值瞬间翻了几十万倍,形成了一个巨大的半导体产业,中国每年进口半导体芯片所花费的金额就达到了几万亿人民币,已经超过了石油的进口总额,集成电路与半导体材料已经成为了社会发展的“刚需”。那么人类是如何将沙子摇身一变成为价值媲美黄金的芯片呢?接下来我们将进入制造半导体的世界。

半导体芯片

从沙子到单晶硅再到晶圆

沙子的组成沙子是我们生活中非常常见的一种物质,它的主要组成成分是石英,也就是二氧化硅(SiO2),沙子中二氧化硅含量高,因此,对于半导体产业来说,沙子是再合适不过的原料了。制作半导体材料所需要的原料是单晶硅,因此,需要先将沙子中的氧去除,从而得到单质硅。

沙子

沙子中提取硅单质,得到多晶硅要将沙子中的二氧化硅变为单质硅,需要将沙子中的二氧化硅进行还原。一般是在电弧炉中,将石英含量较高的沙子和焦炭按适当的比例加入,在℃的高温中反应并生成硅单质。

电弧炉二氧化硅还原

然而,通过上面反应之后得到的硅杂质含量很高,硅的纯度一般只有95%~99%,这种硅称为冶金级硅。只有极少数的高纯度冶金级硅(纯度≥98%)才能用于进一步提纯为高纯度的电子级多晶硅,而这些能达到要求的仅占冶金级硅的1%。

超大规模集成电路的硅材料,纯度需要达到10~11个9,也就是平均几百亿个原子中仅含有一个杂质原子,这个纯度是非常高的,因此,需要将上面得到的硅进一步提纯。

一般先将粗硅与氯化氢(HCl)气体在高温下反应,生成三氯化氢硅(SiHCl3),同时也会生成SiCl4、SiH2Cl2、SiH3Cl、AlCl3、FeCl3等物质,再利用这些物质沸点的不同在蒸馏塔中控制温度进行多次精馏分离。

得到的高纯SiHCl3再与H2通入还原炉中,利用高纯硅细棒作为发热体,加热到℃左右,SiHCl3会与H2在炉内反应,生成Si和HCl,新生成的硅会沉淀在硅棒上,使硅棒逐渐变粗,得到高纯度的硅单质。

粗硅进一步提纯工艺

从非晶硅到单晶硅棒制备芯片所需要的硅必须是要单晶硅,所谓的单晶,就是物质内部的原子排列整齐有序的,而上述得到的反应得到的单质硅内部结构并非有序结构,一般为非晶结构或多晶结构,非晶即为原子排列完全没有规则,杂乱无章,而多晶则为部分结构有序,而长程无序,微观的区域内为晶体结构,很多的晶体结构之间存在着晶界。因此需要进一步重新熔化结晶得到单晶硅。




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