超纯水的定义
超纯水又称UP水，是指电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除水分子外，不含其它杂质，如细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，也没有人体所需的矿物质等微量元素，即是去除氧和氢以外所有原子的水。可用于超纯材料（半导体元件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用在蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。
纯水的分类和标准
纯水分为工业纯水和饮用纯水工业纯水在25℃中，
普通纯水：EC=1~10us/cm；
高纯水：EC=0.1~1.0us/cm；
超纯水：EC=0.1~0.；
饮用纯水：EC=1~10us/cm(国家标准)
超纯水的行业标准
超纯水制备基本步骤
超纯水制备主要包括以下三个阶段，即初步吸附过滤阶段、反渗透净化阶段和树脂离子交换阶段。1.初步吸附过滤阶段自来水进入原水箱，通过原水泵增压，经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、精密过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤进入EDI单元，达到符合规格电阻率进入纯水水箱。纯水供水设计为循环方式，经纯水供水泵增压，通过紫外线消毒器、抛光混床TulsimerMBUP、0.22微米过滤器接入纯水供水管，到达使用点。
采用石英砂过滤、活性炭过滤、保安过滤作为两级反渗透的预处理
2.反渗透净化阶段反渗透原理是RO反渗透膜孔径小至纳米级（1纳米=10-9米），在一定的压力下，H2O分子可以通过RO膜，而源水中的无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质无法通过RO膜，从而使可以透过的纯水和无法透过的浓缩水严格区分开来，实现脱盐效果，达到纯化目的。整个反渗透系统由高压泵、反渗透膜、压力容器以及相应的仪器、仪表、阀门、机架、管道及管件等组成,此外还有独立的化学清洗装置。
3.树脂离子交换阶段EDI(Electrodeionization)又称连续电除盐技术，它科学地将电渗析技术和离子交换技术融为一体，通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐，并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生，因此EDI制水过程不需酸、碱化学药品再生即可连续制取高品质超纯水。EDI系统由增压泵、膜堆、电源以及相应的仪器、仪表、阀门、机架、管道等组成。
超纯水终端混床树脂是在极其严格的工艺控制条件下制成的，树脂经过特别的处理，再生转型已接近极限化，故具有极高的再生效率和极低的杂质含量，并具有强的交换能力和很高的机械强度。高纯水终端混床树脂无需再生，就可广泛应用于电子工业高纯水制备、实验室高纯水、高效液相色谱用高纯水、含放射物处理、药品、半导体行业、凝结水精制以及其它各种水处理工艺的终端混床精处理。高品质的混床树脂可确保出水水质达到稳定，产水水质16~18.2MΩ，生产极高质量的高纯无硅纯水。
纯水供水循环采用nm紫外线杀菌、抛光混床脱盐、0.22微米过滤，达到用户的纯水水质要求。为保证纯水的品质以及生物学指标，在纯水制备的终端设置精度为0.22μm的微滤膜过滤器，用于截留去除脱盐设备出水中的微粒以及细菌尸体。由于0.22μm的微滤膜膜过滤器为整个脱盐工艺的最后一道处理设备，因此又称终端过滤器。过滤器内装折叠式微孔滤膜，过滤精度0.22μm，过滤器出口设置压力表。过滤器经过一段时间的运行后，滤膜表面截留了大量杂质，使滤膜堵塞，导致工作压力增加，当进出口压力差增大到某一设定值时，更换滤膜。终端过滤器由罐体、0.22μm滤芯、压力表组成。适用于生产半导体集成电路、显示器、硬盘、CD﹣ROM等用水。在进水得到充分的处理及合理的混床设计情况下，TulsimerMBUP的出水电阻率能达到18.25MΩ。