平板显示器中螺杆真空泵的使用

随着在屏幕阅读的幻想未来,显示面板行业的高速发展。面板的制造过程非常复杂。从玻璃基板到成品至少需要道工序。整个过程需要在无尘的环境和精确的技术过程中进行。因此,在面板生产过程中,高度可靠的真空供应尤为重要。平板显示器厂家现在使用干螺杆真空泵技术为其高负荷L/L,CVD,PVD,刻蚀,溶剂蒸发工艺提供真空。本文旨在介绍下螺杆真空泵在平板显示器中的应用。

平板显示器(FPD)的制造过程需要真空和减排设备,这些设备可以支撑大型处理室并以最大的可靠性提供高气体流量。需要真空设备来泵送有毒,自燃性和腐蚀性气体,并处理在处理室中形成的大量固体处理副产物。

为什么选择平板显示器的螺杆真空泵?

选择干式螺杆真空泵的原因实际上与其产品特性有关。它具有以下三个优点:

1、高可靠性

干式螺杆真空泵由于其成熟的双螺杆设计和智能的温度管理而特别高效。这些真空泵即使在最严苛的应用中也能提供高可靠性和长使用寿命。

2、配备节能模式功能,可以节省大量能源

干式螺杆真空泵配备有节能电机和世界先进的节能模式功能。控制系统可根据需求自动调整为节能模式,并在需要时恢复至最大抽气模式,从而节省了大量能源。

3、最小化维护和运营成本

它的一小部分部件(包括转子)都是一件式的。得益于其模块化设计以及独立的罗茨泵和螺杆泵机架,它易于安装和维护,大大降低了大修成本。由于优化的空间设计和节能潜力,真空泵的运行成本较低。

由多个干式螺杆真空泵与罗茨泵组成的真空系统是平板显示器应用的最佳解决方案,例如快速排空以进入腔室,排空过渡腔室和薄膜沉积腔室。在相同类型的泵中,它们提供最快的泵送时间和最快的泵送速度。通过标准化设计,真空使系统提供了极大的用户友好性。用户还可以受益于标准化的接口,例如电气连接,吹扫气体和冷却水,方便的设备维护以及优化的泵管理。

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精细化工中的旋片真空泵装置

如今,精细化工已成为世界化学工业发展的战略重点之一、也是化学工业激烈竞争的焦点之一。真空技术广泛用于精细化工生产中,并且需要在真空条件下实现许多工艺操作,例如真空过滤,真空蒸发,真空蒸馏,真空浸渍,真空干燥等。真空泵是一种可以在特定空间内抽气以获得真空的装置。在实践中所需的真空压力范围非常宽,通常在1×和1.33×10-13Pa之间。因此,有必要使用各种抽气原理,并使用结构和抽速不同的真空泵。这里仅描述了旋片式真空泵在精细化学品中的最常见应用。

精细化工产品包括以下11个产品类别

1.杀虫剂;2.染料;3.油漆(包括油漆和油墨);4.颜料;5.试剂纯度高;6.信息化学品(包括光敏材料,磁性材料等可以接受电波的化学品);7.食品和饲料添加剂;8.粘合剂;9.催化剂和各种助剂;10.化学系统生产的化学药品(API);11.高分子聚合物中的功能高分子材料(包括功能膜,偏光材料等)。

旋片真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵,工作压力范围为1.01×~~1.33×10-2Pa。旋片泵是低真空泵,主要是中小型泵。它可以单独使用或串联使用以获得更高的真空度。它也可用作其他高真空泵或超高真空泵的前级泵。

精细化工行业旋片式真空泵的精制

原油塔真空系统——通常是真空蒸馏,溶剂脱蜡,其他真空蒸馏塔和

原油塔真空系统:通常在大型液环真空泵的前面安装第一级旋片真空泵,在旋片真空泵之后设置两个并行的液环压缩机。从压缩机出来的气体进入H2S脱气机(氨反应),然后作为燃烧燃料进入熔炉。

溶剂脱蜡:溶剂脱蜡过程包括冷却蜡油,使其凝结成蜡,然后将其过滤并用溶剂洗涤。在真空鼓式过滤器中保持真空可使蜡油在外部压力的作用下流经筛网。通常将氮气作为保护气体引入过滤器,然后将其抽出。过滤后的油和氮进入接收器,油被分离出来。氮气通过转鼓进入旋片真空泵。这是连续的脱蜡循环操作。

为原油蒸馏塔真空系统提供了用于旋片真空泵和蒸汽喷射泵的混合真空系统,但这并不意味着该技术仅用于此类应用。过去,许多真空系统都使用蒸汽喷射泵。用混合真空系统代替它们是一个不错的选择。更换的结果是节能。




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